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一些對(duì)空氣敏感、熱穩(wěn)定性較差的材料需要在真空、純凈的箱體環(huán)境中進(jìn)行干燥處理，用于去除器件內(nèi)部基板表面的水或溶劑，或在特定溫度條件下對(duì)敏感材料進(jìn)行干燥/固化，真空加熱系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這些功能的最為經(jīng)濟(jì)有效的一款產(chǎn)品，最高溫度可達(dá)到180°C。
在對(duì)高精密光通信、激光器、傳感器器件進(jìn)行同軸封裝或蝶形封裝時(shí)，不僅需要密閉的惰性氣體環(huán)境，同時(shí)還需要保持箱體內(nèi)的水氧含量小于5PPM，為了維持水氧含量穩(wěn)定保持在規(guī)定的數(shù)值區(qū)間，就需要加裝氣體純化系統(tǒng)，該系統(tǒng)能將手套箱內(nèi)的氣體不間斷地循環(huán)，然后經(jīng)過(guò)氣體凈化設(shè)備把手套箱體內(nèi)的水氧和有機(jī)溶劑雜質(zhì)除去。
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